JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
ISSN:1071-1023

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B

J VAC SCI TECHNOL B
学科领域:工程技术
是否预警:不在预警名单内
是否OA:
录用周期:约3.0个月
新锐分区:工程技术4区
年发文量:185
影响因子:1.2
JCR分区:Q4

基本信息

《真空科学与技术杂志》B版重点介绍与微米和纳米结构和器件相关的处理、测量和现象。处理可包括真空处理、等离子体处理和微光刻等,而测量涉及广泛的材料和器件表征方法,用于理解亚微米和纳米结构和器件的物理和化学。
1071-1023SCIE
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2026年3月发布
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